電容式壓力變送器與擴散硅壓力變送器的區別
點擊次數：3421 發布時間：2021-05-26 02:21:05
壓力變送器根據感壓膜片的不同分為電容式、擴散硅式、單晶硅式和陶瓷式，本文主要討論電容式和擴散硅式。
一、電容式壓力變送器
原理：電容式壓力變送器有一個可變電容的傳感組件，該傳感器是一個完全封閉的組件，過程壓力、差壓通過隔離膜片和灌充硅油傳到傳感膜片引起位移，傳感膜片和兩電容極板之間的電容差由電子部件轉換成4-20ma電流信號。
簡單的說，壓力引起電容的變化。
其優點為：可以做到極低壓力；抗過載能力強；精度高。缺點為：高壓測量缺乏優勢；傳感器封裝工藝要求高。
以壓力變送器為例，電容式如下圖所示：
二、擴散硅式壓力變送器
擴散硅式壓力變送器原理：被測介質的壓力直接作用于傳感器的擴散硅膜片上，使膜片產生與介質壓力成正比的微小位移。在正常狀態下，膜片*大位移不大于0.025mm，電子線路檢測這一位移量后，即把這一位移量轉化成4-20ma信號。
簡單的說，壓力引起電阻的變化。
超壓時膜片直接貼到堅固的擴散硅上，由于膜片和基體的間隙只有0.1mm，因此過壓時膜片的*大位移也只有0.1mm，所以從結構上保證了膜片不會產生過大的變形，該傳感器具有很好的穩定性和高精度。
其優點是：穩定性高，每年優于0.1%FS；溫度偏移小，由于取消了測量元件中的液體，因此傳感器能夠獲得很高的精度；價格便宜。缺點是：低于0℃或高于85℃難以正常使用；不能承受動態壓力；膜片易損壞；不適用20MPa以上的壓力。
以壓力變送器為例，擴散硅式如下圖所示：
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